THE EFFECT OF ATOMIC OF HYDROGEN IN THE INITIAL PROCEDURE OF DIAMOND HETEROEPITAXY ON Si AND THE INTERFACE BETWEEN DIAMOND AND Si
Si衬底上异质外延金刚石的初始阶段原子H的作用及其界面结构

Keywords: 金刚石,单晶膜,硅衬底,原子氢,界面结构

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Abstract:

用高分辨率电子能量损失谱方法研究了原子H与被C2H2吸附的Si(100)界面的相互作用.结果显示，在Si(100)界面上，Si—Si二聚化键和C2H2中的C—C键被H原子打开，它们分别形成Si—H，C—H键.用AM1量子化学方法，计算了C2H2和C2H4在Si(100)上的吸附结构，指出了C2H2

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