Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films
射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性

Keywords: soft magnetism,amorphous,nanocrystalline
纳米晶,软磁性,非晶态

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Abstract:

用射频反应溅射制备了FeTaN纳米晶软磁薄膜.研究了薄膜结构和磁性与制备条件的依赖关系.研究发现,当Ta的含量较高时,在N2+Ar混合气氛中易形成沉积态薄膜的非晶结构.适当的热处理后,αFe纳米晶从中晶化生成.薄膜显示出优良的软磁特性

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