%0 Journal Article
%T Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films<br>射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性
%A Zheng Dai-Shun
%A Xie Tian
%A Bai Jian-Min
%A Wei Fu-Lin
%A Yang Zheng
%A <br>郑代顺
%A 谢天
%A 白建民
%A 魏福林
%A 杨正
%J 物理学报
%D 2002
%I 
%X 用射频反应溅射制备了FeTaN纳米晶软磁薄膜.研究了薄膜结构和磁性与制备条件的依赖关系.研究发现,当Ta的含量较高时,在N2+Ar混合气氛中易形成沉积态薄膜的非晶结构.适当的热处理后,αFe纳米晶从中晶化生成.薄膜显示出优良的软磁特性
%K soft magnetism
%K amorphous
%K nanocrystalline<br>纳米晶
%K 软磁性
%K 非晶态
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=DE27E69AA9A98C30&yid=C3ACC247184A22C1&vid=987EDA49D8A7A635&iid=E158A972A605785F&sid=51FE5F6F4794AD16&eid=F434A3C2A19884E7&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=14