COMPUTER SIMULATION OF THE EPITAXY GROWTH IN ULTRA-THIN FILMS
超薄膜外延生长的计算机模拟

Keywords: 超薄膜,薄膜器件,外延生长,计算机模拟

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Abstract:

对超薄膜的生长过程进行了计算机模拟，得到与实验结果一致的团簇生长形貌及“台阶流动”结果，分析了邻晶面偏离角对成核密度等的影响，并计算了台阶流动的阈值及团簇的分形维数.

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