%0 Journal Article
%T COMPUTER SIMULATION OF THE EPITAXY GROWTH IN ULTRA-THIN FILMS<br>超薄膜外延生长的计算机模拟
%A WU FENG-MIN
%A ZHU QI-PENG
%A WU ZI-QIN
%A <br>吴锋民
%A 朱启鹏
%A 吴自勤
%J 物理学报
%D 1998
%I 
%X 对超薄膜的生长过程进行了计算机模拟，得到与实验结果一致的团簇生长形貌及“台阶流动”结果，分析了邻晶面偏离角对成核密度等的影响，并计算了台阶流动的阈值及团簇的分形维数.
%K 超薄膜
%K 薄膜器件
%K 外延生长
%K 计算机模拟
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=478BD5F0F36565A6BF650254DF7C12DE&yid=8CAA3A429E3EA654&vid=F4B561950EE1D31A&iid=9CF7A0430CBB2DFD&sid=83F3E1555B654B95&eid=F91C9B147A9ECBD0&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=5&reference_num=3