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物理学报 1999
THE STUDY OF EPITAXIAL GROWTH ZnO THIN FILM ON A (0112) SAPPHIRE SUBSTRATE USING ECR PLASMA SPUTTERING METHOD
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Abstract:
蓝宝石上外延生长ZnO薄膜在表面波和声光器件中有重要的应用．用微波电子回旋共振(ECR)等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上外延生长了ZnO薄膜，膜无色透明，并且表面光滑，基片温度为380℃，为探索沉积工艺参数对薄膜结构的影响，用XRD对不同基片温度和沉积速率生长的ZnO薄膜进行了研究．
