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ISSN: 2333-9721
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物理学报  1995 

弹道电子发射显微镜对Au/n-Si(100)界面势垒的探测

Keywords: BEEM,金属／半导体,界面,势垒,探测,金,硅

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Abstract:

用弹道电子发射显微镜对Au/n-Si(100)界面势垒测试,直接得出定点的势垒特性和纳米尺度的界面图象.通过所测的I-(c)-V曲线,可得所测点的肖特基势垒高度及电荷传输特性.界面图象可以显示界面极小范围内势垒的特性.

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