重离子背散射——测量表面与近表面痕量元素的一种新方法

本文报道了用重离子背散射探测表面、近表面微量重元素的新方法。通过选择入射离子种类,使入射离子原子量M1等于或略大于基体原子量M2,利用弹性散射运动学实现自动排除探测系统的脉冲堆积现象。实验结果表明利用能量为3MeVSi离子背散射,测量基体Si中注As的灵敏度优于2×1012原子/cm2;对基体Si表面的杂质元素Au,探测灵敏度高达2.2×109原子/cm2。