%0 Journal Article
%T 重离子背散射——测量表面与近表面痕量元素的一种新方法
%A 承焕生
%A 杨福家
%A 李向阳
%J 物理学报
%D 1991
%I 
%X 本文报道了用重离子背散射探测表面、近表面微量重元素的新方法。通过选择入射离子种类,使入射离子原子量M1等于或略大于基体原子量M2,利用弹性散射运动学实现自动排除探测系统的脉冲堆积现象。实验结果表明利用能量为3MeVSi离子背散射,测量基体Si中注As的灵敏度优于2×1012原子/cm2;对基体Si表面的杂质元素Au,探测灵敏度高达2.2×109原子/cm2。
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=47EA7CFDDEBB28E0&jid=29DF2CB55EF687E7EFA80DFD4B978260&aid=741F4FB06BF0AC7EE5AA8C3777D3F3DC&yid=116CB34717B0B183&vid=1371F55DA51B6E64&iid=E158A972A605785F&sid=91BAD12CFABB3251&eid=E3D3D8D1B650AE1E&journal_id=1000-3290&journal_name=物理学报&referenced_num=0&reference_num=0