MULTILAYER ANALYSIS OF DAMAGE PROFILE IN ION IMPLANTED SILICON BY OPTICAL SPECTROMETRY
离子注入Si损伤分布的光谱法多层分析

应用多层模型和最优化方法,由实验测得的离子注入Si的椭偏光谱以及单晶Si和离子注入非晶Si的光学常数,能分析离子注入Si的损伤分布。我们测量了2.1—4.6eV能量范围的椭偏光谱和光学常数,建立了多层计算模型和最优化方法。在模拟分析的基础上,计算了能量为40keV,剂量分别为4×1013和1.4×1014cm-2的As+注入Si的损伤分布,并与背散射测量的结果比较。用多层模型和最优化方法也能从光谱分析其它物理量的分布,只要这些物理量对光学性质有显著的影响,并且在测量过程中不随光子能量而改变。