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ISSN: 2333-9721
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物理学报  1995 

大气中长期存放与长时间热氧化后多孔硅光致发光峰能量的会聚

Keywords: 光致发光,多孔硅,热氧化,能量会聚

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Abstract:

改变阳极氧化的工艺条件,制备出光致发光峰能量位于1.4—2.0eV范围内的大量多孔硅样品,其中45块样品在大气中存放一年,102块样品在200℃下热氧化(累计达200小时).在上述两种情况下,光致发光峰能量在氧化后都会聚到1.70—1.75eV能量范围.假设在充分氧化的多孔硅中包裹纳米硅的氧化层中,存在发光能量处于~1.70—1.75eV的发光中心,上述实验结果可以用量子限制/发光中心模型解释.

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