ELLIPSOMETRIC STUDY OF DAMAGE AND ANNEALING IN ARSENIC ION IMPLANTED SILICON
用椭圆偏光法研究硅中砷离子注入的损伤和退火效应

我们用椭圆偏光法对As+离子注入Si的损伤和退火效应进行了测量。对As+注入能量为150keV、注入剂量为1016cm-2的情况,测得的折射率分布呈现平台型,表明出现了非晶质层。在600—700℃间有一转变温度,高于此温度退火,可消除非晶质层。实验结果表明椭圆偏光法亦是测定辐射损伤的有用工具。