The Stress Measurement for TiN Films by Glancing Method
TiN薄膜掠射侧倾法应力测试

由于薄膜厚度很薄，使得在应用传统X射线法测试薄膜应力时，存在透入深度过深且衍射强度不够的缺点；而且一般气象沉积膜都存在择优取向的情况，应用常规法（或侧倾法）测试时易发生sin^2ψ曲线弯曲现象。准聚焦衍射几何也使得常规法在无应力情况下产生正、负ψ的sin^2ψ曲线发生分离现象。故与传统方法相比，掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大以及对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。本文应用掠射侧倾法测量了PVD和PCVD工艺的TiN薄膜的内应力情况，结果表明制备工艺对于气象沉积膜内的应力状态有较大影响，而且薄膜内的应力状态比较复杂，一般处于三向应力状态。