%0 Journal Article
%T The Stress Measurement for TiN Films by Glancing Method<br>TiN薄膜掠射侧倾法应力测试
%A ZHANG Ming
%A HE Jia wen
%A <br>张铭
%A 何家文
%J 实验力学
%D 2000
%I 
%X 由于薄膜厚度很薄，使得在应用传统X射线法测试薄膜应力时，存在透入深度过深且衍射强度不够的缺点；而且一般气象沉积膜都存在择优取向的情况，应用常规法（或侧倾法）测试时易发生sin^2ψ曲线弯曲现象。准聚焦衍射几何也使得常规法在无应力情况下产生正、负ψ的sin^2ψ曲线发生分离现象。故与传统方法相比，掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大以及对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。本文应用掠射侧倾法测量了PVD和PCVD工艺的TiN薄膜的内应力情况，结果表明制备工艺对于气象沉积膜内的应力状态有较大影响，而且薄膜内的应力状态比较复杂，一般处于三向应力状态。
%K glancing method
%K stress
%K thin f<br>掠射侧倾法
%K 应力
%K 薄膜
%K 氮化钛
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=6E709DC38FA1D09A4B578DD0906875B5B44D4D294832BB8E&cid=5D344E2AD54D14F8&jid=49067A0A0D864088C06A84AACB51A5B2&aid=8B9CBF895ACF849E&yid=9806D0D4EAA9BED3&vid=23CCDDCD68FFCC2F&iid=E158A972A605785F&sid=44FDB9366EDDFA2B&eid=AFB2C35009D5D191&journal_id=1001-4888&journal_name=实验力学&referenced_num=2&reference_num=5