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半导体学报 2010
Design and application of a depletion-mode NJFET in a high-voltage BiCMOS process
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Abstract:
摘 要:本文提出了一种新型的兼容高压BiCMOS工艺的耗尽型NJFET,并实际研制了一种四路12位数模转换器。研制的NJFET夹断电压-1.5V,击穿电压17V;带轻掺杂漏区的高压NMOS管开启电压1.0V,击穿电压35V;齐纳二极管的正向电压5.5V。使用该耗尽型NJFET及其兼容工艺研制的四路12位数模转换器的基准温度系数为±25ppm/℃,微分误差小于±0.3LSB,线性误差小于±0.5LSB,还可以广泛应用于其他高压数模/模数转换器的研制。