A low-loss V-groove coplanar waveguide on an SOI substrate
基于SOI衬底的低损耗V型槽共平面波导

由于SOI技术具有低损耗、低串扰等优异的电磁特性，在射频集成电路领域受到了越来越多的重视。基于SOI衬底的性能良好的无源器件对整个射频电路性能具有重要的作用。本文设计了一种基于SOI衬底的低损耗V型槽共平面波导，采用与CMOS标准工艺与硅的各向异性刻蚀技术相结合，去除了信号线与地线间距下方的SOI表层硅，实现了该传输线样品。测试结果表明，在测量的0-40GHz频率范围内，V型槽共平面波导的传输特性相比传统共平面波导有了极大改善，传输损耗减小了约50%。