%0 Journal Article
%T A low-loss V-groove coplanar waveguide on an SOI substrate<br>基于SOI衬底的低损耗V型槽共平面波导
%A Zhao Yuhang
%A Tong Jiarong
%A Zeng Xuan
%A Wang Yong
%A <br>赵宇航
%A 童家榕
%A 曾璇
%A 王勇
%J 半导体学报
%D 2009
%I 
%X 由于SOI技术具有低损耗、低串扰等优异的电磁特性，在射频集成电路领域受到了越来越多的重视。基于SOI衬底的性能良好的无源器件对整个射频电路性能具有重要的作用。本文设计了一种基于SOI衬底的低损耗V型槽共平面波导，采用与CMOS标准工艺与硅的各向异性刻蚀技术相结合，去除了信号线与地线间距下方的SOI表层硅，实现了该传输线样品。测试结果表明，在测量的0-40GHz频率范围内，V型槽共平面波导的传输特性相比传统共平面波导有了极大改善，传输损耗减小了约50%。
%K SOI
%K coplanar waveguide
%K low loss
%K radio frequency<br>绝缘体上硅，共平面波导，低损耗，射频
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=2207704AF3895EE2DE65E015478014EE&yid=DE12191FBD62783C&vid=340AC2BF8E7AB4FD&iid=DF92D298D3FF1E6E&sid=0F1EE0B695C42876&eid=38B194292C032A66&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0