Chlorine gas sensors using hybrid organic semiconductors of PANI/ZnPcCl16
聚苯胺/十六氯酞菁锌杂化有机半导体氯气传感器的研究

本文采用微加工技术在硅片上制作了铂金叉指电极，通过真空共蒸发沉积制备了聚苯胺/十六氯酞菁锌气敏薄膜，借助SEM对沉积膜进行了表征分析，并分析了氯气作用下影响该薄膜自身性能的相关因素，同时也对该传感器进行了气敏性能测试。实验结果表明：当聚苯胺与十六氯酞菁锌化学计量比为2：3时，薄膜对氯气有很好的敏感特性；最佳的蒸发沉积条件为基片温度160 ℃、蒸发温度425 ℃、薄膜厚度75 nm；提高工作温度(100 ℃以上)或增加气体浓度(100 ppm以上)，均可以提高响应特性，但二者都将存在一个上限值。最后，我们也对该气敏薄膜的敏感机理进行了讨论。