%0 Journal Article
%T Chlorine gas sensors using hybrid organic semiconductors of PANI/ZnPcCl16<br>聚苯胺/十六氯酞菁锌杂化有机半导体氯气传感器的研究
%A 雷廷平
%A 施云波
%A 吕文龙
%A 刘洋
%A 陶巍
%A 袁鹏亮
%A 林立伟
%A 孙道恒
%A 王立权
%J 半导体学报
%D 2010
%I 
%X 本文采用微加工技术在硅片上制作了铂金叉指电极，通过真空共蒸发沉积制备了聚苯胺/十六氯酞菁锌气敏薄膜，借助SEM对沉积膜进行了表征分析，并分析了氯气作用下影响该薄膜自身性能的相关因素，同时也对该传感器进行了气敏性能测试。实验结果表明：当聚苯胺与十六氯酞菁锌化学计量比为2：3时，薄膜对氯气有很好的敏感特性；最佳的蒸发沉积条件为基片温度160 ℃、蒸发温度425 ℃、薄膜厚度75 nm；提高工作温度(100 ℃以上)或增加气体浓度(100 ppm以上)，均可以提高响应特性，但二者都将存在一个上限值。最后，我们也对该气敏薄膜的敏感机理进行了讨论。
%K PANI/ZnPcCl16
%K hybrid organic semiconductors
%K chlorine gas sensors
%K vacuum co-deposition oindent<br>聚苯胺/十六氯酞菁锌
%K 杂化有机半导体
%K 氯气传感器
%K 真空共蒸发沉积
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=81137F87E8E70473689A1B058527162F&yid=140ECF96957D60B2&vid=4AD960B5AD2D111A&iid=5D311CA918CA9A03&sid=4B3EF36943658022&eid=94C357A881DFC066&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0