Ultra compact triplexing filters based on SOI nanowire AWGs
基于SOI纳米线AWG超紧凑三向滤波器

本文针对FTTH，设计并制备了基于SOI纳米线AWG的三向滤波器。利用传输函数法模拟了器件的传输谱，模拟结果表明器件能很好的实现三向滤波的功能。通过深紫外光刻和感应耦合等离子刻蚀设备，制备了所设计的器件。输出光谱分析表明，器件的通道间串扰为-15 dB，3 dB带宽为11.04 nm，三个通道的输出波长分别为1455 nm、1510 nm和1300 nm，偏离了设计值，波长的偏移主要是由制造过程中阵列波导宽度的偏移设计宽度45 nm引起的，材料色散也是导致波长偏移设计值的一方面原因。