%0 Journal Article
%T Ultra compact triplexing filters based on SOI nanowire AWGs<br>基于SOI纳米线AWG超紧凑三向滤波器
%A Zhang Jiashun
%A An Junming
%A Zhao Lei
%A Song Shijiao
%A Wang Liangliang
%A Li Jianguang
%A Wang Hongjie
%A Wu Yuanda
%A Hu Xiongwei
%A <br>张家顺
%A 安俊明
%A 赵雷
%A 宋世娇
%A 王亮亮
%A 李建光
%A 王红杰
%A 吴远大
%A 胡雄伟
%J 半导体学报
%D 2011
%I 
%X 本文针对FTTH，设计并制备了基于SOI纳米线AWG的三向滤波器。利用传输函数法模拟了器件的传输谱，模拟结果表明器件能很好的实现三向滤波的功能。通过深紫外光刻和感应耦合等离子刻蚀设备，制备了所设计的器件。输出光谱分析表明，器件的通道间串扰为-15 dB，3 dB带宽为11.04 nm，三个通道的输出波长分别为1455 nm、1510 nm和1300 nm，偏离了设计值，波长的偏移主要是由制造过程中阵列波导宽度的偏移设计宽度45 nm引起的，材料色散也是导致波长偏移设计值的一方面原因。
%K triplexer
%K FTTH
%K nanowire
%K AWG
%K wavelength division multiplexing (WDM)<br>三向器
%K 光纤到户
%K 纳米线
%K 阵列波导光栅
%K 波分复用器
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=9CB13B1D439D6A76D1CA5C16DC2FCC1C&yid=9377ED8094509821&vid=9971A5E270697F23&iid=E158A972A605785F&sid=2019FB9FC9E8FFAF&eid=E158A972A605785F&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0