Sigma-delta电容式微机械加速度机设计与噪声分析

设计了一种单环4阶∑△加速度计的接口专用集成电路（ASIC），采用敏感结构和二阶开关电容积分器组成4阶积分结构。详细分析了影响∑△微机械加速度计系统精度的三种噪声：机械噪声、电路噪声和量化噪声，建立了电路噪声和量化噪声的精确的数学公式。该电路采用0.5um 两层金属两层多晶n阱CMOS工艺流片，测试结果表明机械噪声和电路噪声分别为1ug/rtHz和8uV/rtHz,电路噪声和量化噪声的理论模型预测值与测试和仿真结果相一致。