%0 Journal Article
%T Sigma-delta电容式微机械加速度机设计与噪声分析
%A 刘云涛
%A 刘晓为
%A 陈伟平
%A 吴群
%J 半导体学报
%D 2010
%I 
%X 设计了一种单环4阶∑△加速度计的接口专用集成电路（ASIC），采用敏感结构和二阶开关电容积分器组成4阶积分结构。详细分析了影响∑△微机械加速度计系统精度的三种噪声：机械噪声、电路噪声和量化噪声，建立了电路噪声和量化噪声的精确的数学公式。该电路采用0.5um 两层金属两层多晶n阱CMOS工艺流片，测试结果表明机械噪声和电路噪声分别为1ug/rtHz和8uV/rtHz,电路噪声和量化噪声的理论模型预测值与测试和仿真结果相一致。
%K 噪声分析，Sigma-Delta，微机械，加速度计，专用集成电路
%U http://www.alljournals.cn/get_abstract_url.aspx?pcid=5B3AB970F71A803DEACDC0559115BFCF0A068CD97DD29835&cid=1319827C0C74AAE8D654BEA21B7F54D3&jid=025C8057C4D37C4BA0041DC7DE7C758F&aid=10C2801C462B6885AE47D0AD8C7B229D&yid=140ECF96957D60B2&vid=4AD960B5AD2D111A&iid=94C357A881DFC066&sid=77183CEFA184BC31&eid=B31275AF3241DB2D&journal_id=1674-4926&journal_name=半导体学报&referenced_num=0&reference_num=0