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交叉学科中的光刻工艺实验教学探讨与实践
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Abstract:
高校开展交叉学科理论与实验教学在高校人才培养体系中具有举足轻重的作用，也是有效地帮助学生将理论知识转化为科研能力的重要环节。所以交叉学科类实验教学开展意义重大，交叉学科中的“光刻工艺实验”是典型的交叉学科类实验，在介绍光刻实验操作教学时，提出了交叉学科类实验教学对于新工科背景下人才培养的重要性，充分合理利用好高校科研资源进行新兴学科方向的实验教学，是培养学生良好的科研素质、创新思维、以及综合学科能力的重要手段。
The teaching of interdisciplinary theory and experiment plays an important role in the talent culti-vation system of colleges and universities, and is also an important link to help students effectively transform theoretical knowledge into scientific research ability. Therefore, it is of great significance to carry out the experimental teaching of interdisciplinary. The lithography technology experiment in interdisciplinary is a typical interdisciplinary experiment. In introducing the teaching of lithography experimental operation this paper presents a new interdisciplinary class experimental teaching for engineering under the background of the importance of the cultivation of talents, fully reasonable make good use of scientific research resources for emerging discipline direction of experimental teaching in colleges and universities. It is an important means to cultivate students’ good scientific research quality, innovative thinking and comprehensive subject ability.
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