液氮环境下的热载流子高功率微波探测器

摘　要： 为提高热载流子高功率微波探测器的灵敏度和降低环境温度对探测器性能的影响，开展了液氮环境下的热载流子探测器研究。提出了局部使用可阀合金块的BJ-100型热载流子探测器制作工艺，增强了探测器的抗温度冲击能力。测试结果表明，探测器硅片焊接的结合力大于4.9 N，能够承受从常温到液氮的反复温度冲击。利用100 kW微波源开展了热载流子探测器在室温和液氮环境下的灵敏度测试实验，结果表明：探测器输出波形与肖特基二极管检波器输出波形一致；在保持偏置电流相同的条件下，相较于常温环境，探测器在液氮环境下的相对灵敏度提升约20倍，输出电压可达V级