一维矩形光栅AFM图像盲探针表面重建模拟研究

探针结构参数的合理选取将直接决定扫描图像及其盲探针修正图像的失真程度。基于此，以一维矩形模拟光栅为典型案例，对该模拟光栅的原子力显微镜（AFM）扫描成像过程与盲探针修正过程进行了仿真，阐明了探针结构参数对扫描成像过程与盲探针修正过程的影响规律。通过建立线宽变化度与半高宽相结合的图像重建误差评价指标，确定了针对该模拟光栅的AFM探针建议结构参数，并取得了良好的光栅图像重建效果。研究表明，应用线宽变化度结合半高宽来综合评价光栅的AFM测量和图像重建过程，有利于提升实际光栅AFM图像盲探针重建的准确度