光学非球面磁性复合流体抛光运动控制及误差分析

针对精密光学系统中对高精度光学非球面元件的加工需求，设计磁性复合流体抛光的直线光栅式运动轨迹，并通过运动轨迹和非球面方程计算出各抛光加工点坐标。根据工件表面形貌和抛光头运动姿态设计了抛光加工路径，建立各抛光加工点间的弓高误差模型，通过模型对工件表面弓高误差变化规律进行仿真分析。仿真结果表明，弓高误差会随着Y轴上步长的增大而增大。这对非球面超精密加工具产生了深远的影响，促进了光学元件超精密高效制造技术的发展