类金刚石膜超低摩擦行为的研究进展

近年来，高硬度、低摩擦、高耐磨性的类金刚石（Diamond like carbon，DLC）膜引起了国内外学术界和工业界极大的研究兴趣，尤其是它的超低摩擦行为。首先从宏观和微观角度分析了DLC膜超低摩擦的起源，研究发现DLC膜的微观结构和测试环境是影响DLC膜实现超低摩擦的主要因素，而DLC膜的微观结构由其制备工艺决定。然后系统讨论了制备工艺（包括制备方法、反应气源、掺杂元素和基体材料等）和测试环境（包括真空与干燥惰性气体环境、潮湿环境、高温环境、载荷和滑动速度等）对DLC膜超低摩擦行为的影响规律。最后归纳分析了目前对DLC膜超低摩擦机理的几种解释，指出DLC膜作为超低摩擦材料仍需解决的问题及未来的研究趋势