电感耦合等离子体离子源气体温度特性数值模拟分析

摘要 采用以流场为主耦合电磁场的计算流体力学方法分析ICP离子源的温度特性，并比较加载采样锥前后其温度特性的变化。由于采样锥和炬管构成了相对封闭的空间，加载采样锥后大部分区域温度偏高。在采样锥附近等离子体通道效应明显，中心通道温度从25 mm附近开始急剧上升到8000 K左右，在采样锥口前1 mm左右急剧下降到6 000 K左右。用Discrete Phase Model (DPM)模型分析了不同直径气溶胶颗粒对中心通道气体温度的影响，发现颗粒直径太大会影响中心通道气体温度的稳定性，而直径几微米的气溶胶颗粒电离效率较高