一种在线监测快速过程质谱仪的设计与测试

摘要 工业生产过程中，如何实现准确、连续、可靠地检测目标组分是产物及排放物在线监测的重点。本工作研制了一种在线监测快速过程质谱仪，采用高增益的复合跨导线性放大技术代替传统的过程质谱仪所采用的对数放大技术，该技术可实现质谱仪在高增益条件下仍然具有超高速的特点，结合16位高速AD转换器，可以实现更快的扫描速度和更高的数据输出频率，能够更准确地捕捉快速反应（如热解）过程的气体生成物随时间的变化信息，进而实现反应特性的精准分析和量化，为反应动力学研究提供无失真的在线分析数据。本实验对该仪器的质量分辨率、灵敏度、质量轴稳定性、长时稳定性等关键技术指标进行了测试，同时结合煤热解反应过程监控需求进行了实际应用测试。结果表明，该仪器各项指标已基本达到市场主流过程质谱仪器的水平