低真空环境下四极杆质量分析器灵敏度仿真研究

摘要 为了实现低真空环境下质谱仪的质量分析，提出了利用Langevin碰撞理论模拟低真空环境下离子运动轨迹的方法，该方法可以更准确地反映离子的运动状态。针对四极杆质量分析器，在COMSOL Multiphysics中搭建了适用于低真空环境的离子运动仿真平台。利用该平台仿真得到了低真空条件下，背景气体压强、离子质荷比、背景气体质量、离子初始能量、四极杆半径以及温度对四极杆质谱仪灵敏度的影响。仿真结果表明，随着压强升高，质谱仪灵敏度降低，通过改变离子操作模式，可以削弱由压强变化引起的灵敏度降低，这为低真空质谱仪的设计提供参考