重结晶碳化硅表面MoSi2-Si3N4抗氧化涂层的制备和性能

用浆料涂敷法在孔隙率较高的重结晶碳化硅电热元件表面制备MoSi2-Si3N4抗氧化涂层, 分析了氧化前后涂层的形貌和物相组成,研究了涂层的抗氧化性。结果表明,用该法制备的涂层表面平整,结构致密。浆料在形成涂层的同时填充了大尺寸的开气孔,提高了基体的致密性,因此提高了基体的抗氧化性能。将试样在1500℃氧化性气氛中氧化100 h后,无涂层试样的电阻率增大了84.6%,而MoSi2-Si3N4涂层试样的电阻率只增大10.2%。涂层处理后的电热元件,其抗氧化性显著提高。MoSi2-Si3N4复合涂层的抗氧化性能,明显优于单一的MoSi2涂层