脉冲频率对锆薄膜表面形貌和结构的影响

用脉冲激光气相沉积法在金属钼基底上制备锆薄膜, 并用SEM, AFM, XRD等手段分析薄膜表面形貌和晶体结构, 研究了脉冲激光频率对薄膜表面形貌和晶体结构的影响。结果表明: 随着激光脉冲频率的提高锆薄膜表面液滴数目增加, 液滴尺寸增大, 薄膜的沉积速率显著降低。薄膜表面的平均纳米颗粒尺寸, 随着频率的提高呈现先增大后减小的规律。从XRD数据发现, 较高的脉冲频率极大地促进了薄膜的结晶性生长; 但是, 频率变化对Zr薄膜晶体结构、晶面择优生长的影响并不明显, 薄膜呈现典型的hcp结构且不随频率的变化改变