薄膜热电偶在高温下的防氧化机理

根据金属材料的高温氧化和防氧化特性,研究了不同保护膜对薄膜热电偶防氧化的机理,提出使用SiO2、SiOxNy薄膜作为抗氧化的保护膜。用磁控溅射法分别制备了具有SiO2和SiOxNy保护膜和无保护膜的NiCr-NiSi薄膜热电偶样品,并对三种样品进行高温热处理。结果表明,根据不同样品的XRD图谱中NiO峰的强度,在800℃高温下有SiOxNy保护膜的样品其抗氧化效果约为有SiO2保护膜样品的3~5倍。同时发现,在高温处理过程中SiOxNy薄膜发生轻微氧化使SiOxNy薄膜结构更致密,有利于提高SiOxNy薄膜对温度敏感薄膜的抗氧化性能