微小通道沿程压力测量方法研究

摘要 设计并搭建了一套微小通道沿程压力的测量系统，包括PMMA通道和压力方腔、微应变传感器及多通道应变仪等。利用注射泵的推进方法提供微通道静压，采用FCO510型高精度微差压计的测量值作为标准压力，通过多通道应变仪测量微通道方腔中各个应变片的应变值，从而建立标准压力和应变之间的标定函数。分别对3种微压芯片在80、70、60及50mL/min等4种不同流量下的压力分布进行了测量，压力分布具有良好的线性规律。不确定度分析表明压力误差的相对扩展不确定度范围为0.15%~6.82%，测量结果的有效性和可靠性较高。