低温等离子体物理进展

DOI: 10.6052/1000-0992-1990-3-J1990-036

Keywords: 低温等离子体, 热电弧, 非平衡, 高频放电, 微波放电, 辉光放电, 等离子体电子学

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摘要： 概述了低温等离子体物理研究现状、发展及其应

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