微/纳器件粗糙表面间弯月面力及黏着力计算

微/纳器件表面微观粗糙结构间由于液体介质而引起的弯月面力和黏着力是导致器件精度降低乃至失效的主要原因之一。通过建立微/纳米尺度上球面-平面接触的物理模型，基于Young-Laplace方程和Reynolds润滑理论，分析得到粗糙表面接触分离过程中弯月面力和黏着力的计算公式。在此基础上，计算得到接触表面分离过程中的弯月面形状变化规律，并分别讨论了固体表面分离距离、液滴初始弯月面高度、固体表面润湿性能和分离时间等因素对弯月面力和黏着力的影响。研究结果为微/纳米表面抗黏着机理提供了理论依据