WO3薄膜的微观结构与电致变色机制研究

采用直流反应磁控溅射方法在ITO导电玻璃上沉积了WO3薄膜，研究了靶基距对其微结构和电致变色性能的影响，利用XRD、SEM和XPS对薄膜的微结构和成分进行了表征。通过可见光透射谱对样品的电致变色性能进行了研究，并且讨论了WO3薄膜电致变色性能与其微结构、价态变化之间的关系。发现靶基距为7cm的情况下沉积得到的WO3薄膜呈非晶态，薄膜有更多的孔隙，有利于Li+的抽取，进而显示出较好的电致变色性能。反应溅射制备的WO3薄膜中W是W6+价态，颜色为透明状，当发生着色反应时，随着薄膜中Li+成分增加，薄膜颜色变为蓝色，薄膜中W原子为W6+和W5+的混合价态。我们认为其电致变色的行为是由于Li+和e-在薄膜中的注入和拉出引起的W6+和W5+发生转化所致