以PVA为溶剂ZnO薄膜的液相法制备及其机理研究

以聚乙稀醇（PVA）水溶液为溶剂，采用液相法制备了高度c轴取向的ZnO薄膜。采用XRD、Raman以及AFM分析了退火温度与涂层厚度对ZnO薄膜的影响。结果表明，随着退火温度的提高，ZnO薄膜的结晶度及其均方根粗糙度有所提高；同时厚度的增加使得ZnO薄膜的单一取向性减弱。其生长机理可表述为：在每一层涂层中一致或不一致的成核同时产生，通过层内与层间晶粒的聚合、联并，最后形成具有(002)取向的柱状与颗粒状并存的ZnO连续膜