氧化物半导体气敏传感器的改性研究进展

摘要：氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低、信号测量手段简单、使用方便等优点，在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。本文综述了新型氧化物半导体气敏传感器改性的研究进展、存在的问题及发展趋势