燃烧法合成Al掺杂β-SiC粉体的工艺参数对其介电性能的影响

采用燃烧合成法，以硅粉和炭黑为原料，铝粉为掺杂剂，聚四氟乙烯为助燃剂，分别在不同坯体压力下制备成坯体，在0.1Mpa的氮气气氛中合成Al掺杂β-SiC粉体。通过X射线衍射、扫描电镜和电子能谱对合成粉体的物相、微观结构及形貌进行了表征。同时在8.2~12.4GHz频率范围内进行了介电性能测试。结果表明随着坯体压力的增大，合成β-SiC粉体的晶格参数随之减小，且其介电性能随之降低。本文对合成机理和Al掺杂对SiC介电性能的影响进行了讨论