溶胶凝胶法制备AZO薄膜及Al掺杂机理的研究

采用溶胶-凝胶法和浸渍提拉法成功制备了Al掺杂ZnO薄膜（以下简称AZO薄膜）。用X-射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电镜（FE-SEM）、分光光度计、霍尔（Hall）测量仪，分别研究了不同Al的掺杂浓度对薄膜的结晶性能、微观形貌和光电性能的影响，探讨了Al的掺杂机理。结果表明：Al的掺杂存在最佳值，当Al掺杂摩尔浓度为5%时，AZO薄膜的结晶性能、微观形貌和光电性能最佳，其透光率在80%以上，电阻率为2.1×102Ω?cm，霍尔迁移率0.23cm2/V?s，载流子浓度7.81×1014cm-3