LaAlO3基体上CaBaCo2O5+δ多晶薄膜的微观结构以及生长

采用脉冲激光沉积方法，在（001）LaAlO3上沉积CaBaCo2O5+δ多晶薄膜，用X射线衍射（XRD）和透射电子显微镜（TEM）对基体和薄膜的微观结构进行观察，并探讨了薄膜的生长机制以及改善薄膜质量的可能工艺。结果表明：（1）LaAlO3基体中存在位错、孪晶等缺陷，且孪晶类型以（100）楔形孪晶为主；（2）CaBaCo2O5+δ薄膜为多晶薄膜，薄膜底部保留了薄膜生长过程中的初始晶粒结构，晶粒大小约5～8nm，厚度约为5～7nm。薄膜顶层的晶粒较大，约为11～16nm