PZT压电蜂鸣片溅射金属化的研究

采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化，分别研究了Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag三种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异，并与“丝网印刷银浆再高温烧结”（简称“丝印烧结”）金属化工艺进行了比较。研究结果表明，用溅射金属化工艺制备的压电蜂鸣片，其电极膜层致密、均匀，一致性好，电学性能普遍优于丝印烧结工艺，其中又以Ti/Cu/Ag膜系为最佳，最大抗拉强度达到13.5MPa、平均谐振电阻小于25Ω、机电耦合系数大于0.7，而金属化膜厚仅为丝印烧结工艺的1/4，另外电容量和谐振频率等指标均符合蜂鸣器的标准，各项性能全面优于丝印烧结金属化工艺，具有全过程无污染、生产成本低、可控性强，适合于产业化生产等优点，可以取代丝印烧结工艺