等离子体稳定性对曲面金刚石膜生长的影响

采用直流等离子体喷射化学气相沉积（DCPJCVD）制备曲面金刚石膜，等离子体稳定性对金刚石膜生长十分重要。研究表明，曲面金刚石膜长时间生长，阳极积聚石墨碳点，等离子体流动受阻失稳，金刚石膜含较多杂质。通过对阳极除碳处理，可维持稳定的等离子体、稳定的电子温度Te、均匀的活性原子及原子基团密度。制备的金刚石膜经SEM、Raman等表征，发现曲面金刚石膜致密、晶粒均匀，仅发现金刚石特征峰，制备的曲面金刚石膜质量较高