磁控溅射制备多层石墨烯及其微观摩擦学性能

本文利用磁控溅射方法在铜基底上成功制备出大面积多层石墨烯薄膜, 利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱等对其结构和性能进行了表征，结果证明这些薄膜具有多层石墨烯结构。利用原子力显微镜对其摩擦性能进行表征，发现其微观摩擦性能与石墨烯层数密切相关