非晶CoFeSiBMo合金微带磁性能及在MI磁敏感元件中的应用

采用单辊快淬法制备(Co0.942Fe0.058)71-xSi6.4B22.6Mox（x=0~5)非晶微带。合金微带的玻璃转化温度（Tg）随着Mo含量的增加由805K单调升高至832K；Mo含量为x=5时，过冷液相区?Tx达最大值，表明添加Mo提高了该体系合金的非晶形成能力。饱和磁化强度（Ms）随Mo含量的增加而减小，但在Mo元素含量x=2时，矫顽力（Hc）值最小，有效磁导率（μe）最大。磁学性能测试结果显示，与常规热处理相比，磁场热处理对微带软磁性能改善更加明显。经过纵向磁场热处理，(Co0.942Fe0.058)69Si6.4B22.6Mo2非晶微带饱和磁化强度和有效磁导率分别达到80.99 emu/g和12510，与制备态相比，分别增加40.15%和65.52%；而矫顽力为0.64 A/m，减小48.39%。在驱动频率为43kHz时，以(Co0.942Fe0.058)69Si6.4B22.6Mo2为磁芯的MI磁敏感元件，对磁场灵敏度最大为136%/(A?m-1 )，对弱磁场响应灵敏