飞秒激光烧蚀制备纳米结构ITO薄膜

为了制备具有大面积表面纳米结构的ITO薄膜，利用飞秒激光直接烧蚀ITO薄膜与ZnO薄膜双层薄膜的方法，在飞秒激光频率为1kHz、脉冲宽度为130fs、波长为775nm、能量为20μJ时，在ITO薄膜表面，获得了大面积的周期为176nm左右的周期性平行条纹结构。薄膜通过磁控溅射技术获得，ZnO薄膜作为缓冲层在上层。通过对不同能量飞秒激光与样品作用结果的对比，研究了形成结构与激光能量之间的关系，发现这种大面积纳米结构是在激光能量小于材料烧蚀阈值和入射激光与反射激光的二次谐波之间产生了干涉作用的条件下形成的