纳米氧化铝薄膜湿度传感器的研制

摘要：研究了阳极氧化三氧化二铝多孔膜的制备工艺，采用两步阳极氧化法和独特的后处理工艺获得了孔洞分布均匀，孔径大小一致且耐水合的多孔氧化膜，分析了传感器的湿敏特性：传感器的湿滞小于2%，响应时间小于10s，恢复时间小于40s，性能非常优良。 关键词：湿度传感器 氧化铝 多孔膜 金电