薄膜导热系数的测量方法及技术

随着微型机电系统及集成电路的发展,器件中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜，对其导热系数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作。本文综述了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术，分析了各自的优点及不足，并对其以后的发展趋势做了简要分析